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非硅MEMS技术及其应用 - 的书号查询结果
- 书名：非硅MEMS技术及其应用
- cip：2015004098
- isbn：9787313125255
- 作者：
- 出版社：上海交通大学出版社
- 出版地：上海
- 出版时间：2014.
- 出版价格：150
MEMS技术是二十世纪九十年代由IC技术发展而来，二十一世纪得到迅猛发展的一项高新技术，它集微传感器、微执行器、控制电路于一体，涉及机、电、光、信息、微制造、材料等多学科交叉，可广泛应用于信息、生物、汽车、医疗、国防等领域。非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的，又与硅MEMS技术互为补充。作者及其团队长期从事非硅MEMS技术的研究。根据多年的研究，在书中作者详细地叙述了非硅MEMS技术的特点，非硅材料，三维非硅微加工新技术，新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。该书是作者长期从事非硅MEMS技术研究，理论结合实际，科学研究的总结。该书可供从事MEMS技术，微加工、微传感器、微执行器研究和应用的科技人员和高等学校相关专业教师阅读参考，也可作为机电一体化、精密仪器仪表、微机械等专业的本科高年级学生和研究生的参考资料。
[来源:书号查询官网]
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