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本学术专著以实际应用为出发点,对集成电路制造的主流工艺技术进行了逐一介绍,通过图文对照的形式对典型工艺进行介绍,然后把这些工艺技术应用于实际工艺流程中,通过实例让读者能快速的掌握具体工艺技术的实际应用。本书旨在向从事半导体行业的朋友介绍半导体工艺技术,给业内人士提供简单易懂并且与实际应用相结合研究使用。
[来源:书号查询官网]
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